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由東北大學(xué)張以忱主編的真空工程技術(shù)叢書(shū)：《真空鍍膜技術(shù)》和《真空鍍膜設(shè)備》兩書(shū)由冶金工業(yè)出版社出版發(fā)行?！墩婵斟兡ぜ夹g(shù)》主要內(nèi)容：薄膜基礎(chǔ)理論、真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空卷繞鍍膜技術(shù)、真空化學(xué)氣相沉積（CVD）、離子注入與離子輔助沉積技術(shù)、
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由東北大學(xué)張以忱主編的真空工程技術(shù)叢書(shū)：《真空鍍膜技術(shù)》和《真空鍍膜設(shè)備》兩書(shū)由冶金工業(yè)出版社出版發(fā)行?！墩婵斟兡ぜ夹g(shù)》主要內(nèi)容：薄膜基礎(chǔ)理論、真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空卷繞鍍膜技術(shù)、真空化學(xué)氣相沉積（CVD）、離子注入與離子輔助沉積技術(shù)、ITO導(dǎo)電玻璃鍍膜工藝、薄膜厚度測(cè)量與監(jiān)控、薄膜與表面分析檢測(cè)技術(shù)。書(shū)中還系統(tǒng)地介紹了反應(yīng)濺射鍍膜、非平衡磁控濺射和中頻交流濺射鍍膜技術(shù)。
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專題概述
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