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更新時間：2025.05.17
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超純水系統工藝及其施工 半 導體技術天地 i i \'m$t g v(I . 半導體技術天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、 超純水系統總體介紹 半導體 ,芯片 ,集成電路 ,設計 ,版圖 ,晶圓 ,制造 ,工藝 ,制程 ,封裝 ,測 試 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 隨著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產加工過程中，對于水質的要求也越來越高。為了保 證生產出超大規(guī)模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外，高純水也是 其中最關鍵的因素之一。高純水系統是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒 度都有很高要求的超純水。 超純水系統總體來說一
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1 方 案 書 目 錄 企 業(yè) 簡 介 .................................................... 業(yè) 務 范 圍 .................................................... 設 計 總 則 .................................................... 第一章 項目概況 ............................................... 第二章 技術規(guī)范要求 ........................................... 第三章 工藝系統說明 ........................................... 第四章 設備技術參數及詳細清單 ........
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