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更新日期: 2025-05-26

TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整

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TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整 4.8

TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的電路圖如下: 各部分電路的作用, DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源,包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵(lì)信號(hào), Q1是震蕩管,Q4是推動(dòng)管,Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個(gè)輸出電子管,提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器,機(jī) 器一通電,該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器,只有在需要射頻輸出時(shí)才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測(cè)模塊。主機(jī)背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測(cè)試端口用于檢測(cè)射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下: 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源

等離子體刻蝕過(guò)程中有害氣體凈化的原理和方法

等離子體刻蝕過(guò)程中有害氣體凈化的原理和方法

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等離子體刻蝕過(guò)程中有害氣體凈化的原理和方法——敘述了等離子體刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生的有害氣體以及處理這些有害氣體的原理和方法。對(duì)燃燒分解、化學(xué)中和、薄膜吸氣、等離子體凈化及脈沖電暈放電等作了簡(jiǎn)要的概述。指出等離子體凈化和脈沖電暈放電是凈化有害氣體的...

離子束刻蝕碲鎘汞的溝槽深寬比改進(jìn) 離子束刻蝕碲鎘汞的溝槽深寬比改進(jìn) 離子束刻蝕碲鎘汞的溝槽深寬比改進(jìn)

離子束刻蝕碲鎘汞的溝槽深寬比改進(jìn)

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高深寬比離子束刻蝕技術(shù)是實(shí)現(xiàn)碲鎘汞紅外焦平面探測(cè)器的關(guān)鍵工藝技術(shù).國(guó)內(nèi)應(yīng)用最廣泛的雙柵考夫曼刻蝕機(jī)束散角較大,溝槽深寬比較低.針對(duì)ar離子束刻蝕機(jī),嘗試了三種提高深寬比的方法:選擇不同的光刻膠做掩模、改變刻蝕角度和使用三柵離子源,并通過(guò)掃描電子顯微鏡(sem)觀察了碲鎘汞刻蝕圖形的剖面輪廓并計(jì)算了深寬比.分析了這些工藝方法對(duì)刻蝕圖形輪廓的影響,獲得了一些有助于獲得高深寬比的離子束刻蝕溝槽的實(shí)驗(yàn)結(jié)果.

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等離子(PDP)彩電電源板維修經(jīng)驗(yàn)(下)

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等離子(PDP)彩電電源板維修經(jīng)驗(yàn)(下) 4.8

[例15]長(zhǎng)虹pt4216pdp彩電,指示燈正常,"二次"開(kāi)機(jī)后,燈閃,無(wú)圖、無(wú)聲。分析與維修:指示燈閃爍,說(shuō)明主板mcu已工作,并發(fā)出了開(kāi)機(jī)指令;開(kāi)機(jī)時(shí)能聽(tīng)到副電源板(待機(jī)電源)上繼電器t802的吸合聲,說(shuō)明ac220v已送到主電

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等離子(PDP)彩電電源板維修經(jīng)驗(yàn)(上) 等離子(PDP)彩電電源板維修經(jīng)驗(yàn)(上) 等離子(PDP)彩電電源板維修經(jīng)驗(yàn)(上)

等離子(PDP)彩電電源板維修經(jīng)驗(yàn)(上)

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等離子(PDP)彩電電源板維修經(jīng)驗(yàn)(上) 4.6

[例1]康佳pdp4218彩電,vsb(5v)電壓正常,其他電壓均為0v。分析與維修:因只有vsb電壓正常,說(shuō)明以ic8003(top223pn)為主的stb待機(jī)電壓正常,故障在pfc電路或開(kāi)/關(guān)機(jī)控制電路。測(cè)量電路板上的dc_vcc測(cè)試端,有正常的15v電壓,說(shuō)明開(kāi)/關(guān)機(jī)控制正常,但再測(cè)量pfc測(cè)試點(diǎn),

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TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整熱門(mén)文檔

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等離子(PDP)彩電電源板維修筆記

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等離子(PDP)彩電電源板維修筆記 4.6

[例1]康佳pdp4218彩電,vsb(5v)電壓正常,其他電壓均為0v。分析與維修:因只有vsb電壓正常,說(shuō)明以ic8003(top223pn)為主的stb待機(jī)電壓正常,故障在pfc電路或開(kāi)/關(guān)機(jī)控制電路。測(cè)量電路板上的dc_vcc測(cè)試端,有正常的15v電壓,說(shuō)明開(kāi)/關(guān)機(jī)控制正常,但再測(cè)量pfc測(cè)試點(diǎn),電壓為0v(正常值應(yīng)為380v左右),說(shuō)明故障在pfc產(chǎn)生電路。檢查pfc的相關(guān)電路,發(fā)現(xiàn)整流橋d8003損壞。更換后,通電試機(jī),故障排除。

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等離子(PDP)彩電電源板維修筆記(一) 等離子(PDP)彩電電源板維修筆記(一) 等離子(PDP)彩電電源板維修筆記(一)

等離子(PDP)彩電電源板維修筆記(一)

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等離子(PDP)彩電電源板維修筆記(一) 4.7

[例1]康佳pdp4218彩電,vsb(5v)電壓正常,其他電壓均為0v。分析與維修:因只有vsb電壓正常,說(shuō)明以ic8003(top223pn)為主的stb待機(jī)電壓正常,故障在pfc(功率因素校正)電路或開(kāi)/關(guān)機(jī)控制電路。測(cè)量電路板上的dc—vcc測(cè)試端,有正常的15v電壓,說(shuō)明開(kāi)/關(guān)機(jī)控制正常,但再測(cè)量pfc測(cè)試點(diǎn),電壓為0v(正常值應(yīng)為380v左右),說(shuō)明故障在pfc產(chǎn)生電路。檢查pfc的相關(guān)電路,發(fā)現(xiàn)整流橋d8003損壞。更換后,通電試機(jī),故障排除。

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雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng) 雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng) 雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng)

雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng)

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雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng) 4.7

針對(duì)強(qiáng)流雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng)的特殊要求,介紹了燈絲電源和弧電源的組成及其作用,并對(duì)其主電路設(shè)計(jì)思路進(jìn)行了相關(guān)的分析。離子源等離子體放電實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該套等離子體電源系統(tǒng)達(dá)到了設(shè)計(jì)指標(biāo)要求。

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日立42PD7980TC型等離子彩電電源板故障維修 日立42PD7980TC型等離子彩電電源板故障維修 日立42PD7980TC型等離子彩電電源板故障維修

日立42PD7980TC型等離子彩電電源板故障維修

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日立42PD7980TC型等離子彩電電源板故障維修 4.4

一臺(tái)日立42pd7980tc等離子。三無(wú)。按下電源開(kāi)關(guān)電視機(jī)無(wú)反應(yīng).拆開(kāi)電視機(jī)外殼檢查保險(xiǎn)絲已經(jīng)燒斷發(fā)黑.判斷電源板有嚴(yán)重短路故障。由于上門(mén)維修沒(méi)有該機(jī)電源板的圖紙資料.取得主人同意。將電源板拆下帶回維修中心進(jìn)行脫板維修。

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離子束減薄對(duì)金屬玻璃電鏡樣品的非均勻刻蝕 離子束減薄對(duì)金屬玻璃電鏡樣品的非均勻刻蝕 離子束減薄對(duì)金屬玻璃電鏡樣品的非均勻刻蝕

離子束減薄對(duì)金屬玻璃電鏡樣品的非均勻刻蝕

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離子束減薄對(duì)金屬玻璃電鏡樣品的非均勻刻蝕 4.8

本文利用透射電子顯微鏡和原子力顯微鏡研究了金屬玻璃樣品在離子束作用后形成的厚度起伏特征。采用高分辨透射電鏡和能譜分析結(jié)果表明金屬玻璃樣品中沒(méi)有發(fā)生明顯的結(jié)構(gòu)和成分的變化。利用離子束與樣品表面作用過(guò)程的粗化機(jī)理解釋了出現(xiàn)這種特征厚度起伏的原因。這種厚度起伏是由材料本身性質(zhì)和實(shí)驗(yàn)條件共同決定的。通過(guò)研究離子束與樣品的作用方式,有利于確定合適的透射電鏡樣品制備方法,有助于利用透射電鏡研究非晶樣品的微觀結(jié)構(gòu)。

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TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整精華文檔

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怎樣更換等離子電視的電源板 怎樣更換等離子電視的電源板 怎樣更換等離子電視的電源板

怎樣更換等離子電視的電源板

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怎樣更換等離子電視的電源板 4.4

電源板是等離子電視的重要器件。更換時(shí),需認(rèn)真對(duì)待電源板進(jìn)行好壞判斷、更換操作和更換后調(diào)整三個(gè)環(huán)節(jié)的工作。1.電源板好壞的判斷對(duì)電源板好壞的判斷方法有兩種。即"直觀法"和"電壓法"。(1)直觀法:在拆機(jī)后,對(duì)電源板進(jìn)行直觀檢查,看電源板上有無(wú)燒焦的痕跡和電容凸起的現(xiàn)象。若有,則可判斷已損壞。

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一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制 一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制 一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制

一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制

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一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制 4.5

等離子體因其高溫、高導(dǎo)熱特性,對(duì)污染物有很高的處理效率,尤其是對(duì)難處理污染物及特殊要求污染物。直流拉弧放電是產(chǎn)生熱等離子體的主要方法之一,通過(guò)高頻變壓器和電壓電流反饋裝置可得到滿(mǎn)足電弧伏-安特性的直流大電流,由此可通過(guò)電弧放電獲得穩(wěn)定高效的等離子體源,在污染煙氣處理等領(lǐng)域有良好的應(yīng)用前景。本文通過(guò)利用igbt逆變技術(shù)來(lái)獲得適丁環(huán)保、焊接等應(yīng)用的直流大電流,研制成能產(chǎn)生0~30a電流的直流等離子體發(fā)生器。

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一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制 一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制 一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制

一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制

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一種熱等離子體發(fā)生器電源的研制 4.3

等離子體因其高溫高導(dǎo)熱特性對(duì)污染物有很高的處理效率,尤其是對(duì)難處理污染物及特殊要求污染物。直流拉弧放電是產(chǎn)生熱等離子體的主要方法之一,通過(guò)高頻變壓器和電壓電流反饋裝置可得到滿(mǎn)足電弧伏安特性的直流大電流,由此可通過(guò)電弧放電獲得穩(wěn)定高效的等離子體源,在污染煙氣處理等領(lǐng)域有良好的應(yīng)用前景。通過(guò)利用igbt逆變技術(shù)來(lái)獲得適于環(huán)保、焊接等應(yīng)用的直流大電流,研制成能產(chǎn)生0~30a電流的直流等離子體發(fā)生器。

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等離子(PDP)彩電電源板電路維修技法 等離子(PDP)彩電電源板電路維修技法 等離子(PDP)彩電電源板電路維修技法

等離子(PDP)彩電電源板電路維修技法

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等離子(PDP)彩電電源板電路維修技法 4.8

等離子(pdp)彩電電源板電路是pdp彩電中故障率最高的部分,電源板電路出現(xiàn)故障后,會(huì)導(dǎo)致各種故障現(xiàn)象,最常見(jiàn)的現(xiàn)象就是不開(kāi)機(jī)、"三無(wú)"、整機(jī)無(wú)反應(yīng)、電源指示燈不亮。此外,還會(huì)引起"死機(jī)"、開(kāi)機(jī)后關(guān)機(jī)保護(hù)等現(xiàn)象。下面根據(jù)維修實(shí)際,詳細(xì)介紹等離子

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DBD等離子體發(fā)生器電源電壓頻率異常分析 DBD等離子體發(fā)生器電源電壓頻率異常分析 DBD等離子體發(fā)生器電源電壓頻率異常分析

DBD等離子體發(fā)生器電源電壓頻率異常分析

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DBD等離子體發(fā)生器電源電壓頻率異常分析 4.6

研究中發(fā)現(xiàn)了電源電壓頻率異?,F(xiàn)象。通過(guò)實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)這種現(xiàn)象是由于高漏感變壓器的存在,導(dǎo)致電路諧振能量過(guò)大引起的。在此研究了這種現(xiàn)象對(duì)開(kāi)關(guān)損耗和rcd緩沖電路的影響,提出通過(guò)調(diào)整諧振參數(shù)和加大占空比來(lái)抑制這種現(xiàn)象的方法。

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TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整最新文檔

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中頻電源對(duì)聚丙烯表面等離子體改性

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中頻電源對(duì)聚丙烯表面等離子體改性 4.5

為了優(yōu)化等離子體改性工藝,對(duì)聚丙烯板進(jìn)行了常壓空氣等離子體處理。等離子體的產(chǎn)生采用了自制中頻電源和平行板電極結(jié)構(gòu)組成的介質(zhì)阻擋放電系統(tǒng)。處理前后聚丙烯表面的微觀結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和潤(rùn)濕性通過(guò)場(chǎng)致發(fā)射掃描電鏡、原子力顯微鏡和接觸角分析儀進(jìn)行了分析。結(jié)果表明,等離子體處理后,聚丙烯板表面結(jié)構(gòu)變粗糙且粗糙度增加了近5倍;表面接觸角下降(或潤(rùn)濕性提高),并且等離子體劑量為1.5kj的試樣具有較好的潤(rùn)濕性和抗老化性能。

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干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)改造 干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)改造 干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)改造

干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)改造

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干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)改造 4.4

干式數(shù)控等離子切割機(jī)在使用過(guò)程中普遍存在冷卻水流量偏小、降溫速度慢、水溫偏高等現(xiàn)象,等離子割炬和消耗件經(jīng)常不能得到及時(shí)冷卻,從而造成頻繁燒割炬、消耗件使用壽命嚴(yán)重縮短等情況,不但影響生產(chǎn)的順利進(jìn)行,還大幅增加了生產(chǎn)成本。文章闡述了通過(guò)加裝微電腦溫度控制器、壓縮機(jī)、冷凝器、水位報(bào)警監(jiān)測(cè)器、冷卻水流量顯示器等裝置,對(duì)干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)進(jìn)行了改造,極大地改善了割炬和消耗件的冷卻效果及系統(tǒng)的監(jiān)測(cè)能力,降低了設(shè)備的維護(hù)成本。

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干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)改造

干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)改造

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干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)改造 4.6

干式數(shù)控等離子切割機(jī)在使用過(guò)程中普遍存在冷卻水流量偏小、降溫速度慢、水溫偏高等現(xiàn)象,等離子割炬和消耗件經(jīng)常不能得到及時(shí)冷卻,從而造成頻繁燒割炬、消耗件使用壽命嚴(yán)重縮短等情況,不但影響生產(chǎn)的順利進(jìn)行,還大幅增加了生產(chǎn)成本。文章闡述了通過(guò)加裝微電腦溫度控制器、壓縮機(jī)、冷凝器、水位報(bào)警監(jiān)測(cè)器、冷卻水流量顯示器等裝置,對(duì)干式等離子電源冷卻水系統(tǒng)進(jìn)行了改造,極大地改善了割炬和消耗件的冷卻效果及系統(tǒng)的監(jiān)測(cè)能力,降低了設(shè)備的維護(hù)成本。

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松下等離子屏電源板單獨(dú)維修和去保護(hù)方法

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松下等離子屏電源板單獨(dú)維修和去保護(hù)方法 4.5

三星、lg等離子屏要通過(guò)自檢方式判斷故障是主板引起,還是屏組件或屏本身故障引起,但松下等離子屏的自檢需用松下公司的專(zhuān)用遙控器和接收頭,然后根據(jù)指示燈的閃爍次數(shù)判斷故障范圍,因?yàn)樵谒上碌入x子屏中,ss板需要反饋stb-ps信號(hào),所以不能斷開(kāi)ss板進(jìn)行故障判斷。

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等離子(PDP)彩電主板電路維修筆記

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等離子(PDP)彩電主板電路維修筆記 4.6

例1康佳pdp4209j彩電,"三無(wú)"。分析與維修:拆開(kāi)后蓋,通電檢查,開(kāi)機(jī)能聽(tīng)到電源繼電器吸合的聲音,但在吸合瞬間又自動(dòng)斷開(kāi)。此現(xiàn)象可能是整機(jī)在開(kāi)機(jī)啟動(dòng)的過(guò)程中檢測(cè)到有故障,

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鑄鐵坩鍋抗鋁融蝕等離子噴涂技術(shù) 鑄鐵坩鍋抗鋁融蝕等離子噴涂技術(shù) 鑄鐵坩鍋抗鋁融蝕等離子噴涂技術(shù)

鑄鐵坩鍋抗鋁融蝕等離子噴涂技術(shù)

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鑄鐵坩鍋抗鋁融蝕等離子噴涂技術(shù) 4.5

針對(duì)提高化鋁用鑄鐵坩鍋抗融蝕壽命的實(shí)際問(wèn)題,選用價(jià)格較低、耐高溫、抗融蝕性好的al2o3陶瓷材料作為坩鍋內(nèi)壁的工作層,采用等離子噴涂技術(shù)來(lái)提高其抗融蝕性。但由于al2o3陶瓷涂層的致密性差、結(jié)合強(qiáng)度及抗熱震壽命低等缺點(diǎn),不適宜化鋁坩堝在720℃長(zhǎng)時(shí)間加溫,且液鋁呈攪拌行為的工作條件下使用。本文在al2o3噴涂粉末中加入13%tio2,促使涂層的組織結(jié)構(gòu)發(fā)生變化,提高了涂層的結(jié)合強(qiáng)度,改善了涂層的致密性,同時(shí)有效地提高了涂層的抗鋁融蝕性能,大大地延長(zhǎng)了坩堝的使用壽命。

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一種空氣等離子切割電源引弧電路的研究_王壽福

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一種空氣等離子切割電源引弧電路的研究_王壽福 4.7

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干法刻蝕工藝總結(jié)

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干法刻蝕工藝總結(jié) 4.7

干法刻蝕工藝總結(jié) 離子束刻蝕機(jī)(ibe-150a) 背景: 利用輝光放電原理將氬氣分解為氬離子,氬離子經(jīng)過(guò)陽(yáng)極電場(chǎng)的加速對(duì)樣品表面 進(jìn)行物理轟擊,以達(dá)到刻蝕的作用。把a(bǔ)r、kr或xe之類(lèi)惰性氣體充入離子源放 電室并使其電離形成等離子體,然后由柵極將離子呈束狀引出并加速,具有一定 能量的離子束進(jìn)入工作室,射向固體表面撞擊固體表面原子,使材料原子發(fā)生濺 射,達(dá)到刻蝕目的,屬純物理過(guò)程。 技術(shù)指標(biāo): 裝片:一片六英寸襯底、或1片四英寸,向下兼容。 抽氣速度:30min由atm到1.0×10-3pa 極限真空度:2×10-4pa 離子能量:300ev-400ev icp刻蝕機(jī)(oxfordicp180) 背景: 通入反應(yīng)氣體使用電感耦合等離子體輝光放電將其分解,產(chǎn)生的具有強(qiáng)化學(xué)活性 的等離子體在電場(chǎng)的加速作用下移動(dòng)到樣品表面,對(duì)樣品表面既進(jìn)行化學(xué)

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創(chuàng)維32P93MV等離子彩電電源板常見(jiàn)故障檢修 創(chuàng)維32P93MV等離子彩電電源板常見(jiàn)故障檢修 創(chuàng)維32P93MV等離子彩電電源板常見(jiàn)故障檢修

創(chuàng)維32P93MV等離子彩電電源板常見(jiàn)故障檢修

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創(chuàng)維32P93MV等離子彩電電源板常見(jiàn)故障檢修 4.4

創(chuàng)維32p93mv等離子彩電電源板故障率較高,由于圖紙資料奇缺,給維修造成困難,筆者根據(jù)維修實(shí)踐和網(wǎng)上資料,整理出該電源板的維修圖解,與大家交流。

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等離子對(duì)焊機(jī)使用說(shuō)明1

等離子對(duì)焊機(jī)使用說(shuō)明1

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等離子對(duì)焊機(jī)使用說(shuō)明1 4.6

操作 8.1開(kāi)機(jī) “開(kāi)機(jī)”為開(kāi)啟本機(jī)各個(gè)組成部分電源,進(jìn)入操作狀態(tài),具有獨(dú)立電源開(kāi)關(guān) 的用電裝置有: (1)冷凍式循環(huán)供水箱 冷凍式循環(huán)供水箱接入三相四線供電電源,供制冷系統(tǒng)和水泵系統(tǒng)用電。 “制冷”部分的“工作方式”有“手動(dòng)”和“自動(dòng)”兩檔,當(dāng)置于“手動(dòng)”檔時(shí), 按合自鎖按鈕開(kāi)光即開(kāi)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn),松開(kāi)自鎖開(kāi)關(guān)即停機(jī)。置于“自動(dòng)”檔時(shí),根據(jù) 設(shè)置的溫度范圍,自動(dòng)開(kāi)機(jī)停機(jī)?!八谩辈糠衷O(shè)置“啟動(dòng)”和“停止”按鈕, 控制水泵運(yùn)轉(zhuǎn)。 (2)控制柜 控制柜亦是三相四線供電,通過(guò)四芯插頭接電,控制柜的內(nèi)供電是通過(guò)接觸 器控制,接觸器通斷的電源開(kāi)關(guān),置于控制柜面板,采用鑰匙開(kāi)關(guān)。 (3)接焊電源 本機(jī)配置的tig160型非弧電源和arczx7-500型轉(zhuǎn)移弧電源,均有單獨(dú)的 電源開(kāi)關(guān),開(kāi)機(jī)時(shí)閉合電源開(kāi)關(guān)。 8.2工作氣及冷卻水參考數(shù)調(diào)節(jié) 8.2.1工作氣參考數(shù)調(diào)節(jié) 工作氣參

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