格式：pdf
大?。?span class="single-tag-height">122KB
頁數(shù)： 1頁
隨著半導(dǎo)體工業(yè)的飛速發(fā)展，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）漸成為集成電路制造中的一項(xiàng)關(guān)鍵工藝，其中拋光液是化學(xué)機(jī)械拋光過程中重要的消耗品，長期以來國內(nèi)主要硅材料廠及半導(dǎo)體元件廠依賴進(jìn)口產(chǎn)品，不僅價(jià)格昂貴，而且受制于人。中科院上海微系統(tǒng)所納米技術(shù)研究室CMP小組開展了“納米拋光液產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)”研究，
格式：pdf
大?。?span class="single-tag-height">1.4MB
頁數(shù)： 6頁
為了解決在化學(xué)機(jī)械拋光過程中拋光接觸區(qū)域內(nèi)拋光液的分布均勻性問題,基于生物學(xué)的葉序理論,設(shè)計(jì)葵花籽粒結(jié)構(gòu)的仿生拋光墊,建立化學(xué)機(jī)械拋光拋光液流場的運(yùn)動方程和邊界條件,利用流體力學(xué)軟件(Fluent)對拋光液的流動狀態(tài)進(jìn)行仿真,并獲得葉序參數(shù)對拋光液流動狀態(tài)的影響規(guī)律。結(jié)果表明:拋光液在基于葵花籽粒的仿生拋光墊的流動是均勻的,拋光液沿著逆時(shí)針和順時(shí)針葉列斜線溝槽流動,有利于流體向四周發(fā)散。
拋光液相關(guān)專題
- 自動拋光機(jī)價(jià)格是多少
- 最細(xì)的拋光輪是多少
- 怎么區(qū)別拋光磚和全拋釉
- 怎么用砂紙拋光木頭
- 金剛釉和拋光磚哪個(gè)耐磨
- 鏡面不銹鋼怎么拋光
- 有機(jī)玻璃怎么拋光
- 有沒有金砂黑拋光磚
- 釉面磚和拋光磚怎么區(qū)別
- 圓管拋光機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)流程
- 納米拋光液
- 葉序結(jié)構(gòu)拋光墊表面的拋光液流場分析
- 基于壓電堆驅(qū)動器的噴嘴擋板式氣體控制閥
- 電氣工程及其自動化特色專業(yè)建設(shè)探索
- 分形DGS單元結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及其在微帶電路中的應(yīng)用
- 磷銨技術(shù)改造五大磷肥工程的建議
- 以大豆油多元醇制備的硬質(zhì)聚氨酯泡沫塑料的性能
- 逆變TIG焊機(jī)接觸引弧電路的設(shè)計(jì)(引弧電路)
- 預(yù)制砌塊(磚、石)擋土墻工程砌體施工安全技術(shù)交底
- 應(yīng)用模糊數(shù)學(xué)理論對公路工程建設(shè)項(xiàng)目方案的綜合評價(jià)
- 引嫩工程擴(kuò)建區(qū)土壤水鹽動態(tài)與防治土壤鹽堿措施
- 中華華丹雨、污水管道溝槽開挖專項(xiàng)施工方案教學(xué)教材
- 中國工程圖學(xué)學(xué)會成立工程與制造系統(tǒng)集成化分會
- 中國吹制玻璃行業(yè)市場前景分析預(yù)測年度報(bào)告(目錄)
- 可替代現(xiàn)有隔熱保溫材料的新型材料
- 醫(yī)院病房樓工程施工裝飾裝修工程施工控制
- 在生活中構(gòu)筑自然——河南天旺園林工程有限公司剪影