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構(gòu)建了一臺(tái)數(shù)字化刀口儀,利用該數(shù)字刀口儀對(duì)二次非球面光學(xué)元件進(jìn)行實(shí)際檢驗(yàn),獲得了非球面光學(xué)元件表面面形的均方根(RMS)值和峰谷(PV)值。將數(shù)字刀口儀測(cè)量結(jié)果與干涉儀測(cè)量結(jié)果進(jìn)行比較,測(cè)量結(jié)果的一致性在0.001μm以內(nèi),驗(yàn)證了數(shù)字刀口儀定量檢測(cè)非球面光學(xué)元件的可行性以及所研究的數(shù)字刀口儀的準(zhǔn)確性。最后對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了討論。
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