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電池片生產(chǎn)工序流程 第一道工序是清洗制絨，目的是通過(guò)一系列化學(xué)處理使硅片表面形成絨面 , 來(lái)減少對(duì)光的反射 ,吸收更多的光。 目前我們公司使用的是德國(guó)產(chǎn)的 RENA 清洗機(jī)， 它采用全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制添加排放藥液，智能分析控制藥液流量及濃度，以達(dá)到高 效率、高產(chǎn)量、高穩(wěn)定性產(chǎn)品。 第二道工序是磷擴(kuò)散工序，目的是通過(guò)擴(kuò)散磷雜質(zhì)，在 P 型襯底硅表面形成 N 型硅，制作 PN 結(jié)。 PN 結(jié)的制作是生產(chǎn)太陽(yáng)光伏電池的核心工藝步驟。目前我 們公司主要使用的是中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所的擴(kuò)散爐，它能達(dá)到較 好的擴(kuò)散控制精度。 第三道工序是后清洗工序，通過(guò)酸堿腐蝕去除擴(kuò)散在硅片邊緣的 PN 結(jié)，防 止電池正負(fù)極短路。 目前我們公司使用的是德國(guó) RENA 機(jī)，全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制生產(chǎn) 速度快。 第四道工序是 PECVD 工序，目的是通過(guò)等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積在擴(kuò)散面 上鍍上一層淡藍(lán)色 SIN 膜，減
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