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多晶硅工藝流程簡述 （改良西門子法及氫化） 氫氣制備與凈化工序 在電解槽內(nèi)經(jīng)電解脫鹽水制得氫氣。電解制得的氫氣經(jīng)過冷 卻、分離液體后，進入除氧器，在催化劑的作用下，氫氣中的微量氧 氣與氫氣反應(yīng)生成水而被除去。 除氧后的氫氣通過一組吸附干燥器而 被干燥。凈化干燥后的氫氣送入氫氣貯罐，然后送往氯化氫合成、三 氯氫硅氫還原、四氯化硅氫化工序。 電解制得的氧氣經(jīng)冷卻、分離液體后，送入氧氣貯罐。出氧氣 貯罐的氧氣送去裝瓶。 氣液分離器排放廢吸附劑、 氫氣脫氧器有廢脫氧催化劑排放、 干 燥器有廢吸附劑排放，均供貨商回收再利用。 氯化氫合成工序 從氫氣制備與凈化工序來的氫氣和從合成氣干法分離工序返 回的循環(huán)氫氣分別進入本工序氫氣緩沖罐并在罐內(nèi)混合。 出氫氣緩沖 罐的氫氣引入氯化氫合成爐底部的燃燒槍。 從液氯汽化工序來的氯氣 經(jīng)氯氣緩沖罐， 也引入氯化氫合成爐的底部的燃燒槍。 氫氣與氯氣的 混合氣體在燃燒
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多晶硅用途廣泛,是現(xiàn)代社會發(fā)展建設(shè)必不可少的重要原料。在多晶硅的生產(chǎn)過和中,會改產(chǎn)生廢氣,如果不經(jīng)處理直接排放到空氣中,會對生態(tài)環(huán)境造成嚴重的破壞,進而影響人們的身體健康?，F(xiàn)如今對多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣的處理工藝還存在許多問題,需要對其進行改造,改進不足,加以完善,從而提高對廢氣的回收利用率,減少有害物質(zhì)的排放,達到既能夠保護生態(tài)環(huán)境,又能夠節(jié)約資源的目的,為我國建設(shè)可持續(xù)發(fā)展型社會和環(huán)境友好型社會做出貢獻。本文對多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理工藝改造問題進行深入的分析和研究,并提出可靠的建議,以提高對廢氣的處理水平,加強生態(tài)環(huán)境建設(shè),真正實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。
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