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更新時間:2025.06.14
用幕墻玻璃鍍膜生產(chǎn)線大面積制備ITO膜

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通過對幕墻鍍膜生產(chǎn)線的改造,用矩形平面磁控濺射靶大面積生產(chǎn)氧化銦錫(ITO)膜,并對其主要工藝參數(shù)介紹了一些淺顯的看法。

《真空鍍膜技術(shù)》和《真空鍍膜設(shè)備》出版發(fā)行

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由東北大學(xué)張以忱主編的真空工程技術(shù)叢書:《真空鍍膜技術(shù)》和《真空鍍膜設(shè)備》兩書由冶金工業(yè)出版社出版發(fā)行?!墩婵斟兡ぜ夹g(shù)》主要內(nèi)容:薄膜基礎(chǔ)理論、真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空卷繞鍍膜技術(shù)、真空化學(xué)氣相沉積(CVD)、離子注入與離子輔助沉積技術(shù)、

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真空鍍膜生產(chǎn)線

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