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介紹了采用90°螺旋管的過(guò)濾真空弧等離子體沉成膜系統(tǒng),對(duì)磁過(guò)濾管道的傳輸特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,實(shí)驗(yàn)觀察到,弧源聚焦磁場(chǎng)和過(guò)濾管道正偏壓越高,過(guò)濾管道的傳輸效率越高,但聚焦磁場(chǎng)高過(guò)一定閾值時(shí),會(huì)出現(xiàn)起弧不穩(wěn)現(xiàn)象,此閾值的大小同過(guò)濾管道磁場(chǎng)及偏壓的大小有關(guān),過(guò)濾管道正偏壓在40￣60V范圍內(nèi),管道磁場(chǎng)在7￣11mT時(shí)傳輸效率較高,偏壓越高達(dá)到最佳傳輸效率所需的過(guò)濾管道磁場(chǎng)越高。
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建立了一臺(tái)磁過(guò)濾脈沖陰極真空弧沉積裝置 .通過(guò)在 90°磁過(guò)濾管道和陰極之間加一30～ 60V的正偏壓使系統(tǒng)沉積速率得到了大幅度提高 .研究和觀察表明 ,此時(shí)在過(guò)濾管道和陰極之間產(chǎn)生了陰極真空弧放電 ,并因此使陰極消耗率大幅度增大 .對(duì)此放電回路及其和MEVVA陽(yáng)極 陰極之間弧放電的相互影響進(jìn)行了初步的實(shí)驗(yàn)研究
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魚池過(guò)濾管道設(shè)計(jì)圖
專題概述
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