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更新時間：2025.05.31

頭條 鍋爐管的用途

(1)GB3087-2008《低中壓鍋爐用無縫鋼管》規(guī)定。各種結構鍋爐用鋼管規(guī)格，外徑10～426mm，共計43種。壁厚1.5～26mm共計29種。但機車鍋爐用過熱蒸汽管、大煙管、...

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爐管工藝引言 IC 行業(yè)所用的爐管目前主要是垂直式的（水平式的已經(jīng)很少用了），按使用壓力不同分為常壓爐管和低壓爐管。常壓爐管主要用于熱氧化制程，熱退火， BPSG熱回流，熱烘烤，合金等諸方面。低壓爐管則主要用于 LPCVD 沉積工藝，包括多晶硅的形成，氮化硅的形成， HTO 和 TEOS等；HTO 和 TEOS都是用來生成二氧化硅的。本篇主要介紹爐管的基本知識及有關工藝。 §1. 常壓爐管工藝硅表面上總是覆蓋著一層二氧化硅，即使是剛剛解理的硅，在室溫下，只要在空氣中一暴露就會在表面上形成幾個原子層的氧化膜。當我們把硅晶片暴露在高溫且含氧的環(huán)境里一段時間之后，硅晶片的表面會生長（grow）一層與硅附著性良好，且具有高度穩(wěn)定的化學性和電絕緣性的二氧化硅—— SiO2。正因為二氧化硅具有這樣好的性質(zhì)，它在硅半導體元件中的應用非常廣泛。根據(jù)不同的需要，二氧化硅被用于

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低中壓鍋爐管與鍋爐管有什么區(qū)別低中壓鍋爐管屬于鍋爐管，鍋爐管包括低中壓鍋爐管和高壓鍋爐管。低中壓鍋爐管的執(zhí)行標準是GB/T3087-2017，工作壓力一般不大于5.88Mpa，工作...查看詳情

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