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為準確測量上海光源軟X射線譜學顯微光束線采用的變包含角平面光柵單色儀的轉(zhuǎn)角重復精度,提出了一種新的基于相位板衍射準直技術的測量方法。該方法將半導體激光單模光纖和相位板衍射準直技術結(jié)合起來,利用面陣CCD采集圖像,通過測量光斑的位移變化確定平面鏡和光柵的角度變化。實驗表明,該方法可以測量掠入射情況下單色儀聯(lián)動時的轉(zhuǎn)角重復精度,測量精度可達±0.1″,此測量精度優(yōu)于同等實驗條件下的商用ELCOMAT3000自準直儀的測量精度。
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