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五位RFMEMS開關(guān)延遲線移相器

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文章編號(hào) :1005-6122(2011)02-0084-04 五位 RF MEMS 開關(guān)延遲線移相器 * 金 鈴 (南京電子技術(shù)研究所 ,南京 210013) 摘 要: 設(shè)計(jì)并研制了一種 6 ~11GHz、超寬帶 5 位 RF MEMS 開關(guān)延遲線移相器 ,器件實(shí)現(xiàn)了 5 位延遲 :λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。該器件采用微帶混合介質(zhì)多層板技術(shù) ,分 4層制作 ,尺寸為 45mm×20 mm。整個(gè)器件包括 20個(gè) RF MEMS懸臂梁開關(guān) ,用 60 ~75V 的靜電壓驅(qū)動(dòng) 。6 ~11GHz 頻帶內(nèi) ,對 32 個(gè)相移態(tài)的測試結(jié)果表明 :一般回波損耗 S11 <-10dB,各狀態(tài)平均插入損耗為 -8 ~-10dB;中心頻率處 ,器件可實(shí)現(xiàn)的最大延遲位時(shí)延為 1680ps,總時(shí)延為 3255ps。 關(guān)鍵詞 : 開關(guān)延遲線移相器 ,微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS),懸臂梁開關(guān) ,微波混合介質(zhì)多層

基于微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)的四位移相器設(shè)計(jì)

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