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更新時間：2025.06.14
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無塵室的天花板、地板及牆 無塵室有五個特性 : (l) 耐久性。(2)成本。 (3) 適應(yīng)性。 (4) 可維護性 。 (5)清洗 。 (1)耐久性: 無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng) 的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導(dǎo)體 Fabs 傾向選擇 鋁，基於它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。 (2)清洗: 在製藥和生物工學(xué)工業(yè)，無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止 濾過性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在 biotech 市場，清洗真正地是一個最重要 的企業(yè)。 (3)成本: 微電子 C/R 建設(shè)費可能花費到$10 億。fab 能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就 能更快達到這市場。 許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而 " 錢" 將 成為一個很重要的考慮因素。 (4)適應(yīng)性: 一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢 ，而適
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