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閥蓋與閥座是構(gòu)成燃?xì)獗碛?jì)量誤差的主要因素,為定量評價(jià)燃?xì)獗黹y氣密性好壞,使用激光三角位移傳感器掃描二維氣浮平臺上氣閥工作面的表面輪廓,經(jīng)高斯低通濾波后計(jì)算其表面粗糙度參數(shù),以判斷燃?xì)獗黹y氣密性合格與否。結(jié)果表明:合格與不合格燃?xì)獗黹y表面粗糙度值存在較大差異,激光三角法測量結(jié)果與觸針式粗糙度測量儀測量值也存在偏差,但不影響燃?xì)獗黹y氣密性合格與否的判斷。通過測量燃?xì)獗黹y表面輪廓可判斷其氣密性好壞,為定量評價(jià)燃?xì)獗黹y合格與否提供了科學(xué)依據(jù)。
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