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CECS130-2001混凝沉淀燒杯試驗(yàn)方法

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建標(biāo) 工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)全文信息系統(tǒng) 工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)全文信息系統(tǒng) 中國工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) 混凝沉淀燒杯試驗(yàn)方法 北京 工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)全文信息系統(tǒng) 工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)全文信息系統(tǒng) 中國工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) 混凝沉淀燒杯試驗(yàn)方法 主 編 單 位 山東建筑工程學(xué)院 批 準(zhǔn) 單 位 中國工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì) 施 行 日 期 年 月 日 北 京 工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)全文信息系統(tǒng) 工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)全文信息系統(tǒng) 前 言 根據(jù)中國工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì) 建標(biāo)協(xié)字第 號(hào)文 關(guān)于 下達(dá) 年第二批推薦性標(biāo)準(zhǔn)編制計(jì)劃的函 的要求 制訂本規(guī) 程 對(duì)混凝沉淀過程的研究和控制有混凝沉淀燒杯試驗(yàn)法 電泳 和流動(dòng)電流檢測法 膠體滴定法 顆粒分析法 電鏡法和 衍射法 等 其中混凝沉淀燒杯試驗(yàn)法應(yīng)用最普遍 它是一種模擬混合 絮 凝和沉淀 個(gè)工藝的實(shí)驗(yàn)手段 本標(biāo)準(zhǔn)是在總結(jié)國內(nèi)外大量混凝沉淀燒杯試驗(yàn)研究成果和生 產(chǎn)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上 參照國內(nèi)外有關(guān)技術(shù)文獻(xiàn) 并

Pyrex7740玻璃通孔濕法腐蝕技術(shù)研究

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本文研究報(bào)道了Pyrex7740玻璃濕法腐蝕通孔技術(shù)。將四寸硅玻璃鍵合圓片的玻璃襯底減薄,并在玻璃上分別制備PECVD SiC、W/Au和PECVD多晶硅三種不同掩膜及其開口,最終利用40%HF腐蝕實(shí)現(xiàn)玻璃通孔。整個(gè)工藝過程與IC工藝兼容,并可進(jìn)行圓片級(jí)批量加工。觀察并研究縱向和橫向腐蝕過程和通孔形貌,對(duì)比三種不同腐蝕掩膜掩蔽效果。本文研究結(jié)果為圓片級(jí)密封封裝及其它MEMS器件奠定了基礎(chǔ)。

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