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Pyrex7740玻璃通孔濕法腐蝕技術(shù)研究

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本文研究報(bào)道了Pyrex7740玻璃濕法腐蝕通孔技術(shù)。將四寸硅玻璃鍵合圓片的玻璃襯底減薄,并在玻璃上分別制備PECVD SiC、W/Au和PECVD多晶硅三種不同掩膜及其開(kāi)口,最終利用40%HF腐蝕實(shí)現(xiàn)玻璃通孔。整個(gè)工藝過(guò)程與IC工藝兼容,并可進(jìn)行圓片級(jí)批量加工。觀察并研究縱向和橫向腐蝕過(guò)程和通孔形貌,對(duì)比三種不同腐蝕掩膜掩蔽效果。本文研究結(jié)果為圓片級(jí)密封封裝及其它MEMS器件奠定了基礎(chǔ)。

CECS130-2001混凝沉淀燒杯試驗(yàn)方法

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