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異質結光敏晶體管(HPT)是一種具有內部電流增益的光電探測器,且與異質結雙極晶體管(HBT)的制作工藝完全兼容。利用超高真空化學氣相淀積(UHV/CVD)方法在HBT晶體管的基區(qū)和集電區(qū)間加入多層Ge量子點材料作為光吸收區(qū)。TEM和DCXRD測試結果表明,生長的多層Ge量子點材料具有良好的晶體質量。為了提高HPT的發(fā)射極注入效率,采用高摻雜多晶硅作為發(fā)射極,并制作出兩端HPT型Ge量子點探測器。室溫條件下的測試結果表明,HPT型量子點探測器具有低的暗電流密度和高的反向擊穿電壓。-8 V偏壓下,HPT型量子點探測器在1.31μm和1.55μm處的響應度分別為4.47mA/W和0.11 mA/W。與縱向PIN結構量子點探測器相比,HPT型量子點探測器在1.31μm和1.55μm處的響應度分別提高了104倍和78倍。
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美國倫斯勒理工學院的研究人員開發(fā)出了一種基于納米技術的新型量子點紅外探測器(QDIP)。這種以金為主要材料的新型元件可大幅提高現有紅外設備的成像素質,將為下一代高清衛(wèi)星相機和夜視設備的研發(fā)提供可能。
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