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更新時(shí)間：2025.05.11
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基于嚴(yán)格耦合波理論,分析了金屬介質(zhì)膜光柵的衍射性能,以-1級(jí)衍射效率為評(píng)價(jià)函數(shù),研究了表面浮雕結(jié)構(gòu)分別為HfO2和Si O2材料的金屬介質(zhì)膜光柵,獲得衍射效率優(yōu)于99%的結(jié)構(gòu)參數(shù)。數(shù)值計(jì)算表明,當(dāng)頂層光柵結(jié)構(gòu)為HfO2和Si O2的槽深分別為80nm和225 nm時(shí),在1 053 nm處獲得接近100%的衍射效率。
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反射式光學(xué)相位延遲器件在光學(xué)工程中有著廣泛的應(yīng)用,本文從全反射和單層介質(zhì)膜理論出發(fā),研究了光學(xué)相位延遲隨光線入射角和單層膜厚度的變化,可以看到通過(guò)適當(dāng)?shù)膮?shù)組合,幾乎可以設(shè)計(jì)出各種實(shí)際需要的光學(xué)相位延遲器件,而且更為重要的是,這種相位延遲器件在實(shí)現(xiàn)其相位延遲時(shí)沒(méi)有光能量損失,這在實(shí)際應(yīng)用中非常有用和重要。
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