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超純水系統(tǒng) 1 超純水系統(tǒng) 設(shè) 計(jì) 方 案 目 錄 一、設(shè)計(jì)條件及出水水質(zhì) 3 超純水系統(tǒng) 2 二、設(shè)計(jì)基本資料 4 三、主要組件設(shè)備說(shuō)明 5 四、工藝方案流程及說(shuō)明 11 五、調(diào)試及售后服務(wù)內(nèi)容 12 一、設(shè)計(jì)條件及出水水質(zhì) 1.1 進(jìn)水主要水質(zhì)指標(biāo)：東莞市自來(lái)水 1.2 用戶對(duì)出水要求： 出水量：超純水 9 噸/小時(shí) 出水水質(zhì)：主機(jī)系統(tǒng)超純水：電阻率≥ 18MΩ.㎝@25℃； 出水溫度：常溫。 1.3 水質(zhì)檢測(cè)：隨機(jī)自帶有電導(dǎo)率儀，出水電導(dǎo)率在線顯示。 超純水系統(tǒng) 3 1.4 設(shè)備最終產(chǎn)
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超純水系統(tǒng)工藝及其施工 半 導(dǎo)體技術(shù)天地 i i \'m$t g v(I . 半導(dǎo)體技術(shù)天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、 超純水系統(tǒng)總體介紹 半導(dǎo)體 ,芯片 ,集成電路 ,設(shè)計(jì) ,版圖 ,晶圓 ,制造 ,工藝 ,制程 ,封裝 ,測(cè) 試 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 隨著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產(chǎn)加工過(guò)程中，對(duì)于水質(zhì)的要求也越來(lái)越高。為了保 證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純?cè)牧?、高純氣體、高純化學(xué)藥品外，高純水也是 其中最關(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒 度都有很高要求的超純水。 超純水系統(tǒng)總體來(lái)說(shuō)一
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