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建立了半導體激光器與單模光纖通過球透鏡耦合的光傳輸模型,對雙異質結激光器光束特性進行了分析。基于Huygens-Fresnel原理計算了激光光束遠場發(fā)散角以及光束束腰半徑。運用高斯光束與單模光纖耦合理論以及ABCD矩陣理論進行了激光器與單模光纖的球透鏡耦合效率分析,給出了最優(yōu)化的耦合封裝工藝參數(shù),以及各個影響耦合效率的參數(shù)容忍度,對半導體激光器與單模光纖的球透鏡耦合封裝具有重要意義。
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采用光刻熱熔法及離子束濺射刻蝕制作面陣石英柱微透鏡陣列，表面探針和掃描電子顯微鏡的測試表明，在不同的工藝條件下制成的柱微透鏡的表面輪廓具有明顯的差異，給出了描述柱微透鏡制作 過程中的幾個重要參量的擬合關系式。
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