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VICTREX PEEK先進(jìn)CMP保持環(huán)與FOUP晶圓盒
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要求 分值 測(cè)量方法 自檢 復(fù)檢 終檢 平整度 光滑，無凹凸不平 4 目測(cè) 雜質(zhì) 無與組成無關(guān)的外來雜質(zhì) 5 目測(cè) 氣泡 氣泡最大直徑不超過 3mm 6 游標(biāo)卡尺測(cè)量 浸潤(rùn)不良 無干斑、發(fā)白及其它浸潤(rùn)不良 3 目測(cè) 開裂 無樹脂開裂 3 目測(cè) 裂紋 表面無開裂 5 目測(cè) 白紗 無分層、炸裂 3 目測(cè) 表面平整度 最大1.5 mm 6 游標(biāo)卡尺測(cè)量 色差 無明顯色差 6 目測(cè) 刮傷墊傷 無任何纖維外漏和劃傷 5 目測(cè) 內(nèi)徑 ±5‰ 5 測(cè)量 長(zhǎng)度 ±5‰ 5 測(cè)量 三通位置尺寸 ±5‰ 5 測(cè)量 內(nèi)襯厚度 ≥設(shè)計(jì)厚度 5 游標(biāo)卡尺測(cè)量 總厚度 ≥設(shè)計(jì)厚度 5 游標(biāo)卡尺測(cè)量 巴氏硬度 ≥36 3 巴氏硬度計(jì)測(cè)量 三通平行度 ±1° 6 角度平臺(tái) /角度儀 鋪層工藝 按工藝要求的鋪層及方法制作 8 過程控制 /樣塊焚燒 重量 與設(shè)計(jì)重量誤差≤ 10% 5 稱重 標(biāo)識(shí) 標(biāo)識(shí)正確、清晰 2 目測(cè) 合
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