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用激光干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行精確的線性測量 — 最佳操作及實踐經(jīng)驗 1 簡介 本文描述的最佳操作步驟及實踐經(jīng)驗主要針對使用激光干涉儀校準(zhǔn)機床如車床、銑床以及 坐標(biāo)測量機的線性精度。但是，文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測量方法相 關(guān)的其它項目，如角度、平面度、直線度和平行度測量不包括在內(nèi)，用于實現(xiàn) 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距離精度測量的特殊方法（如真空操作）也不包括在內(nèi)。 微米是極小的距離測量單位。（ 1 微米比一根頭發(fā)的 1/25 還細(xì)。由于太細(xì)，所以肉眼無 法看到，接近于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的極限值）?？蓪崿F(xiàn)微米級及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用，為用戶提供了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數(shù)點后有很多位數(shù)，但并不表 明都很精確。（在許多情況下精度比顯示的分辨率低 10-100 倍）。實現(xiàn) 1 微米的測量分 辨率很容易，但要得到 1 微米的測量精度需要特別注意一些細(xì)節(jié)。本文
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激光測距儀 激光測距儀是利用 激光 對目標(biāo)的距離進(jìn)行準(zhǔn)確測定的儀器。 激光測距儀在工作時向目 標(biāo)射出一束很細(xì)的激光，由光電元件接收目標(biāo)反射的激光束，計時器測定激光束從發(fā) 射到接收的時間，計算出從觀測者到目標(biāo)的距離。 若激光是連續(xù)發(fā)射的，測程可達(dá) 40 公里左右，并可晝夜進(jìn)行作業(yè)。若激光是脈 沖發(fā)射的，一般絕對精度較低，但用于遠(yuǎn)距離測量，可以達(dá)到很好的相對精度。 世界上第一臺激光器，是由美國休斯飛機公司的科學(xué)家梅曼于 1960 年，首先研 制成功的。美國軍方很快就在此基礎(chǔ)上開展了對軍用激光裝置的研究。 1961 年，第 一臺軍用激光 測距儀通過了美國軍方論證試驗，對此后激光測距儀很快就進(jìn)入了實 用聯(lián)合體。 激光測距儀重量輕、體積小、操作簡單速度快而準(zhǔn)確，其誤差僅為其它光學(xué)測距 儀的五分之一到數(shù)百分之一，因而被廣泛用于地形測量，戰(zhàn)場測量， 坦克 ，飛機，艦 艇和火炮對目標(biāo)的測距，測量云層、飛機
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