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蘇聯(lián)某加盟共和國科學院超硬材料研究所和赫爾索恩棉紡聯(lián)合工廠,為降低紡紗斷頭率,提高鋼領表面光潔度為(?)11～(?)12,共同研制成一種用橡膠粘合劑粘合的專用金鋼石拋光工具,以及用這種工具拋光新的或經(jīng)一年使用的細紗鋼領的工藝過程。拋光鋼領,通常采用水磨拋光。雖然鋼領斷面復雜,橢園度和不平度的最大允許誤
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采用金剛石丸片和固結磨料拋光墊兩種方式研磨加工硅片,以硅片的材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Sa)為指標對金剛石丸片和固結磨料拋光墊的研磨性能進行了評價。結果表明:固結磨料拋光墊研磨硅片的材料去除率高于金剛石丸片;研磨后硅片的表面粗糙度也優(yōu)于金剛石丸片,且表面粗糙度(Sa)在中部和邊緣相差不大。最后分析了研磨硅片的產(chǎn)物-磨屑的形狀特征,得出固結磨料拋光墊研磨硅片時的塑性去除量遠高于金剛石丸片。
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