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更新時間：2025.05.11
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為改進現有蒸發(fā)器無法進行旋轉調節(jié),從而導致對于不同上級機械機構和下級機械結構的位置適應能力較差,并且拆卸和安裝不方便的現象,提出了機械旋轉式蒸發(fā)器,并進行了結構改進分析。
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光刻工藝中對熱板表面溫度場均勻性有極高要求,在熱板設計參數選擇問題上,通過使用通用旋轉組合設計的方法,利用ANSYS仿真模擬軟件,得到不同設計參數情況下的熱板表面溫度場均勻性數據。對仿真結果數據進行回歸建模,回歸模型計算結果與仿真結果有較高的一致性。結果表明,熱板設計參數可以根據該回歸模型來選擇。
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