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1206側(cè)面發(fā)紅光LED貼片燈珠規(guī)格書
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采用熔融態(tài)的KOH對AlGaInP基紅光LED外延片進(jìn)行了表面粗化處理。研究了粗化溫度、粗化時間對LED外延片表面形貌的影響,并利用原子力顯微鏡(AFM)、半導(dǎo)體芯片自動測試系統(tǒng)對LED器件的相關(guān)性能(形貌、I-V特性曲線、亮度和主波長)進(jìn)行了表征。比較了粗化前后的LED亮度和電流特性變化。測試結(jié)果表明:利用熔融態(tài)的KOH對AlGaInP基紅光LED外延片進(jìn)行表面粗化可以有效地抑制光在通過LED表面與空氣接觸界面時產(chǎn)生的全反射,得到性能更好的器件。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,采用熔融態(tài)KOH,在粗化溫度為200℃、粗化時間為8min時,能使制作的紅光LED外延片發(fā)光效率提高30%。
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