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更新時間：2025.05.17
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個人收集整理 僅供參考學(xué)習(xí) MEMS 國內(nèi)外發(fā)展?fàn)顩r及我國 MEMS 發(fā)展戰(zhàn)略的思考 孫立寧 1，周兆英 2，龔振邦 3 (1. 哈爾濱工業(yè)大學(xué) 機(jī)器人研究所，黑龍江 哈爾濱 150001) (2. 清華大學(xué) 精密儀器系，北京 100084) (3. 上海大學(xué)，上海 200072) 摘要：針對國際 MEMS 發(fā)展趨勢和未來的產(chǎn)業(yè)化前景，結(jié)合我國 社會經(jīng)濟(jì)發(fā)展的需要和國家競爭前的核心技術(shù)發(fā)展戰(zhàn)略，國家科技 部擬將 MEMS 確定為“十五”863計(jì)劃重大專項(xiàng)。針對這一形勢， 在前期 MEMS 發(fā)展戰(zhàn)略研究的基礎(chǔ)上，介紹了 MEMS 國內(nèi)外發(fā)展 狀況，并對我國 MEMS 發(fā)展的總體目標(biāo)、主要研究內(nèi)容、預(yù)期成 果和運(yùn)行機(jī)制等問題進(jìn)行了探討，以期為開展 MEMS 的研究與開 發(fā)提供參考。 關(guān)鍵詞：微機(jī)電系統(tǒng)（ MEMS）；MEMS 器件；微系統(tǒng) 中 圖 分 類 號 ： TP242 文 獻(xiàn) 標(biāo)
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