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在反射光學(xué)系統(tǒng)中大多采用凸非球面,但凸非球面的加工和檢驗(yàn)一直是比較困難的問題。利用透射凸二次非球面具有自消像差的能力,從三級(jí)像差理論出發(fā),提出了凸二次非球面的透射式自準(zhǔn)檢驗(yàn)和反射式自準(zhǔn)檢驗(yàn)兩種方案,解決了采用Hindle球檢驗(yàn)口徑過大的問題。以某型號(hào)準(zhǔn)600R螄C系統(tǒng)的凸次鏡為例,分析了加工過程中的檢驗(yàn)精度,并和Hindle球檢驗(yàn)方法進(jìn)行比較。結(jié)果表明,凸非球面的自準(zhǔn)檢驗(yàn)是一種切實(shí)可行的高精度檢驗(yàn)方法。
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