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更新時(shí)間：2025.05.11
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目 錄 一、項(xiàng)目概況 .................................... 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 二、設(shè)計(jì)依據(jù)、標(biāo)準(zhǔn) .............................. 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 三、設(shè)計(jì)原則 .................................... 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 四、設(shè)計(jì)范圍和規(guī)模 .............................. 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 五、設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) .................................... 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 六、原有工藝設(shè)施分析與改造內(nèi)容 .................. 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 七、工藝原理 .................................... 錯(cuò)誤 !未定義書簽。 八、主要處理設(shè)備設(shè)計(jì) ...............
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針對(duì)多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理工藝存在的問(wèn)題其進(jìn)行改造,改造后廢氣中約有92.1%的氯硅烷被回收利用,堿液的月平均消耗量減少約500 t;放空氣體中有毒有害成分的質(zhì)量分?jǐn)?shù)由17.6%降至0.08%;著火和爆炸事故等安全問(wèn)題已徹底消除,生產(chǎn)系統(tǒng)的穩(wěn)定性得到改善,多晶硅的月均產(chǎn)量和產(chǎn)品合格率分別提高約13.8%和4.7%。
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