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介紹了某半導體制造項目凈化空調(diào)系統(tǒng)中FFU送風方式,并與傳統(tǒng)集中送風方式相比,分析其優(yōu)缺點。該送風方式已在微電子工業(yè)潔凈廠房得到越來越多的應(yīng)用。
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