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9超純水系統(tǒng)工程方案

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超純水系統(tǒng) 1 超純水系統(tǒng) 設(shè) 計方案目錄一、設(shè)計條件及出水水質(zhì) 3 超純水系統(tǒng) 2 二、設(shè)計基本資料 4 三、主要組件設(shè)備說明 5 四、工藝方案流程及說明 11 五、調(diào)試及售后服務(wù)內(nèi)容 12 一、設(shè)計條件及出水水質(zhì) 1.1 進(jìn)水主要水質(zhì)指標(biāo)：東莞市自來水 1.2 用戶對出水要求：出水量：超純水 9 噸/小時出水水質(zhì)：主機(jī)系統(tǒng)超純水：電阻率≥ 18MΩ.㎝@25℃；出水溫度：常溫。 1.3 水質(zhì)檢測：隨機(jī)自帶有電導(dǎo)率儀，出水電導(dǎo)率在線顯示。超純水系統(tǒng) 3 1.4 設(shè)備最終產(chǎn)

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超純水系統(tǒng)施工工藝

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超純水系統(tǒng)工藝及其施工半導(dǎo)體技術(shù)天地 i i \'m$t g v(I . 半導(dǎo)體技術(shù)天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、超純水系統(tǒng)總體介紹半導(dǎo)體 ,芯片 ,集成電路 ,設(shè)計 ,版圖 ,晶圓 ,制造 ,工藝 ,制程 ,封裝 ,測試 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 隨著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產(chǎn)加工過程中，對于水質(zhì)的要求也越來越高。為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學(xué)藥品外，高純水也是其中最關(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。超純水系統(tǒng)總體來說一

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