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針對多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理工藝存在的問題其進(jìn)行改造,改造后廢氣中約有92.1%的氯硅烷被回收利用,堿液的月平均消耗量減少約500 t;放空氣體中有毒有害成分的質(zhì)量分?jǐn)?shù)由17.6%降至0.08%;著火和爆炸事故等安全問題已徹底消除,生產(chǎn)系統(tǒng)的穩(wěn)定性得到改善,多晶硅的月均產(chǎn)量和產(chǎn)品合格率分別提高約13.8%和4.7%。
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多晶硅用途廣泛,是現(xiàn)代社會發(fā)展建設(shè)必不可少的重要原料。在多晶硅的生產(chǎn)過和中,會改產(chǎn)生廢氣,如果不經(jīng)處理直接排放到空氣中,會對生態(tài)環(huán)境造成嚴(yán)重的破壞,進(jìn)而影響人們的身體健康?，F(xiàn)如今對多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣的處理工藝還存在許多問題,需要對其進(jìn)行改造,改進(jìn)不足,加以完善,從而提高對廢氣的回收利用率,減少有害物質(zhì)的排放,達(dá)到既能夠保護(hù)生態(tài)環(huán)境,又能夠節(jié)約資源的目的,為我國建設(shè)可持續(xù)發(fā)展型社會和環(huán)境友好型社會做出貢獻(xiàn)。本文對多晶硅生產(chǎn)中廢氣處理工藝改造問題進(jìn)行深入的分析和研究,并提出可靠的建議,以提高對廢氣的處理水平,加強(qiáng)生態(tài)環(huán)境建設(shè),真正實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。
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