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玻璃的反應(yīng)性磁控管濺射AR鍍膜
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研究了磁控管驅(qū)動(dòng)電源的設(shè)計(jì)方法。主電路采用諧振拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),易于實(shí)現(xiàn)軟開關(guān),利用升壓高頻變壓器的漏感作為諧振電路的一部分,簡化了主電路設(shè)計(jì)。采用磁控管陽極高壓和燈絲供電電壓分開方案,實(shí)現(xiàn)燈絲電流隨功率變化,來提高磁控管的使用壽命。使用PWM芯片設(shè)計(jì)了主控制電路,通過外部給定信號實(shí)現(xiàn)電源功率調(diào)節(jié)。設(shè)計(jì)的電源具有燈絲電流過小、高壓過壓、過功率、高壓短路和過溫等多重保護(hù)。在1500W的樣機(jī)上進(jìn)行了實(shí)驗(yàn),對設(shè)計(jì)方法的有效性進(jìn)行了驗(yàn)證。
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