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玻璃的反應(yīng)性磁控管濺射AR鍍膜
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研究了磁控管驅(qū)動電源的設(shè)計方法。主電路采用諧振拓撲結(jié)構(gòu),易于實現(xiàn)軟開關(guān),利用升壓高頻變壓器的漏感作為諧振電路的一部分,簡化了主電路設(shè)計。采用磁控管陽極高壓和燈絲供電電壓分開方案,實現(xiàn)燈絲電流隨功率變化,來提高磁控管的使用壽命。使用PWM芯片設(shè)計了主控制電路,通過外部給定信號實現(xiàn)電源功率調(diào)節(jié)。設(shè)計的電源具有燈絲電流過小、高壓過壓、過功率、高壓短路和過溫等多重保護。在1500W的樣機上進行了實驗,對設(shè)計方法的有效性進行了驗證。
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