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采用微加工技術(shù)制造了可與集成電路工藝后端集成的嵌入式螺管型電感和互感器件。實現(xiàn)的器件具有懸空結(jié)構(gòu),大大抑制了襯底損耗。同時,器件結(jié)構(gòu)嵌入硅襯底表面,與標準集成電路封裝兼容。測試表明電感器件達到高的品質(zhì)因數(shù)和自諧振頻率,互感器件實現(xiàn)很寬頻率范圍內(nèi)的高有效增益。力學(xué)性能分析和測試表明器件具有良好的抗沖擊能力和熱穩(wěn)定性。所實現(xiàn)的電感和互感適合高性能射頻集成電路(Radio-frequency integrated circuits,RFIC)的應(yīng)用。
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